气相沉积应用技术

出版时间:2007-1   出版时间:机械工业出版社   作者:王福贞、马文存   页数:411   字数:517000  
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气相沉积应用技术
内容概要

本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖,力求紧密联系实际。 本书可供从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者、在校师生和工人阅读,也可以作为相关专业的参考书。
作者简介

王福贞,1960年毕业于北京科技大学(原北京钢铁学院)金相热处理专业,现从北京联合大学机械工程学院退休。教授,北京有突出贡献专家,享受国务院津贴专家。
从1976年至今一直从事物理气相沉积技术的工艺原理探讨、沉积技术和设备研发。先后取得活性反应离子镀膜机、
书籍目录

序1序2前言第1篇
气相沉积技术基础及各种气相沉积技术
第1章
气相沉积技术概述
1
气相沉积技术分类
2
气相沉积技术特点
3
气相沉积技术应用
第2章
化学气相沉积技术
1
绪言
2
化学气相沉积物理化学基础
3
化学气相沉积热力学分析
4
化学气相沉积反应物质源
5
化学气相沉积涂层质量影响因素
6
化学气相沉积装置
7
高温化学气相沉积技术
8
中温化学气相沉积(MT—CVD)技术
参考文献
第3章
物理气相沉积技术
1
物理气相沉积技术概论
2
物理气相沉积技术基础
3
物理气相沉积技术
参考文献
第4章
等离子体增强化学气相沉积技术
1
等离子体增强化学气相沉积技术机理
2
等离子气体产生过程及性质
3
等离子体化学反应过程
4
等离子体增强化学气相沉积装置
5
等离子体增强化学气相沉积工艺过程及特点
6
等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征
参考文献
第5章
气相沉积设备
1
化学气相沉积设备系统
2
等离子体增强低温化学气相沉积设备
3
物理气相沉积设备及配套系统
参考文献
第6章
预处理主要辅助设备
1
清洗
2
刃口强化
3
喷砂
参考文献
第7章
膜层质量测试
1
膜层质量测试内容
2
性能检验
3
膜层的微区检测
参考文献第2篇
气相沉积技术应用领域
第1章
气相沉积技术在硬质涂层中的应用
1
硬质涂层制品在机械工业中的应用
2
新型硬质涂层的发展趋势
3
硬质涂层制品应用
4
不同硬质涂层的实用沉积工艺技术
5
非金属超硬涂层沉积技术复合涂层沉积技术及应用
参考文献
第2章
气相沉积技术在防护涂层方面的应用
1
防护涂层的作用
2
耐腐蚀涂层
3
热障涂层
参考文献
第3章
气相沉积技术在光学薄膜领域中的应用
1
光学薄膜的应用领域
2
光学薄膜特性
3
光学薄膜的气相沉积技术
参考文献
第4章
气相沉积技术在建筑镀膜玻璃方面的应用
1
建筑镀膜玻璃的功能
2
普通玻璃的光学性能
3
镀膜玻璃的遮阳隔热原理
4
智能窗玻璃
5
防雾防露和自清洁玻璃.
参考文献
第5章
气相沉积技术在太阳能利用领域的应用.
1
太阳能——取之不尽的能源
2
太阳能光一热转换
3
气相沉积技术在太阳能光.伏转换领域中的应用
4
太阳能电池的应用实例
参考文献
第6章
气相沉积技术在集成电路制造中的应用
1
集成电路高集成化发展方向
2
集成电路类型
3
集成电路组成
4
集成电路加工工艺
5
分立器件电路的加工
参考文献
第7章
气相沉积技术在信息显示器件中的应用
1
信息显示器件的应用
2
信息显示器件的种类
3
平板显示器件用薄膜
参考文献
第8章
气相沉积技术在信息存储领域的应用
1
信息存储技术的进展
2
信息存储的类型与存储薄膜
3
超高密度信息存储材料
4
纳米区内电荷存储技术
参考文献
第9章
气相沉积技术在装饰饰品上的应用
1
装饰品给人们五彩缤纷的生活
2
金属基材装饰膜的沉积
3
塑料件装饰膜的沉积
4
真空卷绕镀膜技术
参考文献
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科学
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相关评论与评分
  •     很好的宝贝,当当网的服务也不错。
  •     感觉很不错,描述很细致,,
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  •     涉及面广,但内容简单
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  •     从另个角度论述了宇宙空间,孩子能在有趣的童话中学习科学知识
  •     最对有趣的一本书,有的证明还看不懂。慢慢来吧。
  •     涉猎科学史很好,阅读经典元典
  •     印刷也。。怎么像盗版的感觉。是影印版的缘故吗?,小孩子自己买的
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  •     也很感兴趣,你写成科普作品也肯定不好被人接受
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  •     不过有点偏离想象,虽然不免有点“自话自说”
  •     朋友孩子很喜欢看,想了解西方文化的可以参考。
  •     不知在讲什么,精装本
  •     全系列都买入手了,就是书有点褶皱。
  •     这本书真不错,几百年了
  •     还愿真实的科学。,只是影印版印刷不是太好
  •     读原著也是重要的,是一本必读书。
  •     结果买回来孩子非常喜欢看。觉得里面的各个小知识挺有意思的,值得收藏、
 

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